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     本項目產品為基于分析儀器行業應用的小型脂潤滑復合分子泵，包括FF-63/70、FF-100/300兩個型號。所涉及的關鍵技術主要有： 
     1）渦輪級葉片、牽引級圓盤型螺旋槽氣體輸運特性分析； 
     2）整體式渦輪轉子的強度校核及高速銑削加工工藝； 
     3）高速轉子軸系動力學特性分析及減振結構設計； 
     4）高速直流電機及驅動控制系統設計； 
     其中，整體式渦輪轉子高速銑削加工、高速直流電機及驅動技術達到國際一流水平。 
     項目產品主要應用于各類質譜分析儀器，為儀器正常工作提供必要的高真空環境，產品主要創新點如下： 
     1）分子泵體積小、轉速高，對氦氣、氫氣等小分子氣體有較高的壓縮比； 
     2）采用整體復合型渦輪轉子，并通過HSM600高速銑加工中心規模化生產，提高產品一致性和可靠性，同時較好的控制成本； 
     3）對高速軸系設計軸向、徑向相結合的復合減振方案，保證高速轉子穩定運行。 
     產品主要性能指標如下 
     FF-63/70     FF-100/300
     抽速 > 60 L/s > 250 L/s
     極限壓力   < 5E-5 Pa  < 3E-5 Pa
     轉速 ≥    50700 轉/分鐘 ≥ 42000 轉/分鐘 
     振動值  < 0.1um < 0.1um

應用前景： 
     項目產品為脂潤滑復合型渦輪分子泵，主要為各類儀器和真空平臺提供所需潔凈的高真空環境，產品主要應用于質譜分析、表面科學、激光、薄膜沉積、實驗室科研等領域。 
     據統計，2010年我國進口分子泵8000多臺，其中40%用于各類分析儀器，并以每年20%的速度增長，而該領域分子泵長期被國外廠家壟斷。本項目產品目前已實現銷售27臺，其中部分應用實現了對國外產品的替換。